產品描述
用于半導體硅片研磨、單晶硅的加工領域等
產品特點
目前，采用陶瓷研磨盤研磨半導體硅片是優越最前沿的研磨方法。采用雙面研磨工藝對切割好的硅片進行研磨，通過改善研磨工藝（磨盤材質、研磨液、研磨壓力及研磨轉速等）來提高研磨片的質量；尤其是使用陶瓷盤代替鑄鐵盤，避免研磨時對晶片的主面造成傷痕或污染，減少了金屬離子的引入，可減少硅片的后續加工量，縮短了后續工序（腐蝕）時間，提高了生產效率，而且減少了硅片加工的損耗，提高了硅片的利用率。
產品圖片
化學指標
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性能 |
順鵬陶瓷 |
國內水平 |
國外水平 |
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密度（g/cm3） |
3.97 |
3.81-3.93 |
3.9-3.94 |
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純度（%） |
99.9 |
98-99.8 |
99.5-99.9 |
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維氏硬度（GPa） |
17 |
14-15 |
16-17.5 |
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三點抗彎強度(MPa) |
520 |
300-350 |
330-400 |
產品規格
∅850mm、厚45mm以下的高純氧化鋁圓盤、園環（尺寸可以定制）
順鵬優勢
我司還可以生產以下規格的高端陶瓷：
1、1500×600×25mm以下的長板、長條、方板、薄板；
2、1000×45×45mm以下的導軌；
3、∅300×500mm以下的空管、圓柱體、電真空管等
4、各種形狀的異形件定制產品
我們的產品已出口到澳大利亞、智利、南非、美國、俄羅斯、日本、印度尼西亞等國家，順鵬可提供耐磨陶瓷技術解決方案，將提供適合您要求的產品和優質服務。
網址：www.qmrla.cn.聯系方式：13879937296/0799-2181608。